「IMW2022」3D NANDの最前線 〜EUV適用から、液体窒素冷却の7ビット/セルまで

図19　液体窒素で冷やした場合のコスト 出所：Hitomi Tanaka et al.（KIOXIA）, “Toward 7 Bits per Cell: Synergistic Improvement of 3D Flash Memory by Combination of Single-crystal Channel and Cryogenic Operation.”, IMW2022, Presentation Slide.