「IMW2022」3D NANDの最前線 〜EUV適用から、液体窒素冷却の7ビット/セルまで

図15　3D NANDの構造と実験方法 出所：Hitomi Tanaka et al.（KIOXIA）, “Toward 7 Bits per Cell: Synergistic Improvement of 3D Flash Memory by Combination of Single-crystal Channel and Cryogenic Operation.”, IMW2022, Presentation Slide.

図15　3D NANDの構造と実験方法 出所：Hitomi Tanaka et al.（KIOXIA）, “Toward 7 Bits per Cell: Synergistic Improvement of 3D Flash Memory by Combination of Single-crystal Channel and Cryogenic Operation.”, IMW2022, Presentation Slide.