「IMW2022」3D NANDの最前線 〜EUV適用から、液体窒素冷却の7ビット/セルまで 図1 「IMW2022」のProceedingsの表紙より 出所:International Memory Workshopの論文集の第1ページ 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan