ローム筑後工場のSiC製造、2024年をメドに8インチに SiC新棟には、SiCパワーデバイスやSiCウエハーが展示されている。左=6インチSiCウエハー。一番右はベアウエハーで、残りの3枚は加工の過程を表したもの/中央=8インチSiCウエハー/右=ロームが提供するSiCパワーデバイス。一番下は、ダイオードもMOSFETもSiCを搭載したフルSiCモジュールである[クリックで拡大] 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan