ローム筑後工場のSiC製造、2024年をメドに8インチに

SiC新棟には、SiCパワーデバイスやSiCウエハーが展示されている。左＝6インチSiCウエハー。一番右はベアウエハーで、残りの3枚は加工の過程を表したもの／中央＝8インチSiCウエハー／右＝ロームが提供するSiCパワーデバイス。一番下は、ダイオードもMOSFETもSiCを搭載したフルSiCモジュールである［クリックで拡大］