続報・3MのPFAS生産停止、今は「嵐の前の静けさ」なのか

図2：ドライエッチング装置における温度制御の原理［クリックで拡大］ 出所：野尻一男（Nanotech Research）　『はじめての半導体ドライエッチング技術』（技術評論社）、90ページの図4-16