続報・3MのPFAS生産停止、今は「嵐の前の静けさ」なのか 図1:ドライエッチング装置のチラー用冷媒の世界シェア[クリックで拡大] 出所:筆者の調査による推測値 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan