続報・3MのPFAS生産停止、今は「嵐の前の静けさ」なのか

図1:ドライエッチング装置のチラー用冷媒の世界シェア[クリックで拡大] 出所:筆者の調査による推測値

図1:ドライエッチング装置のチラー用冷媒の世界シェア[クリックで拡大] 出所:筆者の調査による推測値