シリコンフォトニクス技術「COUPE」が導波路とファイバを高い効率で結ぶ

光回路部(PIC:Photonic IC)の構造と光ファイバとの結合方法。左はPICの断面構造例。光部品、回折格子型結合器(GC)、エッジ型結合器(EC)を模式的に描いた。中央の(A)は光部品(光検出器(PD)と光変調回路(MOD))。(B)はGCの断面模式図。(C)はECの断面模式図[クリックで拡大] 出所:TSMC(Hot Chips 33の講演「TSMC packaging technologies for chiplets and 3D」のスライドから)

光回路部(PIC:Photonic IC)の構造と光ファイバとの結合方法。左はPICの断面構造例。光部品、回折格子型結合器(GC)、エッジ型結合器(EC)を模式的に描いた。中央の(A)は光部品(光検出器(PD)と光変調回路(MOD))。(B)はGCの断面模式図。(C)はECの断面模式図[クリックで拡大] 出所:TSMC(Hot Chips 33の講演「TSMC packaging technologies for chiplets and 3D」のスライドから)