HARエッチングとナノスケールパターニングで実現するメモリロードマップ

図3：プラズマの周波数を下げることでイオンの角度分布が狭まり、HAR構造の底部にイオンが到達する可能性が増加する［クリックで拡大］ 出所：ラムリサーチ