HARエッチングとナノスケールパターニングで実現するメモリロードマップ

図1：増大するエッチングの課題。3D NANDスタックが128層をこえると、その高さは7μmに近づき、必要なチャネルホールやスリットは高アスペクト比（HAR）形状に変わる［クリックで拡大］ 出所：ラムリサーチ