シリコンダイを積層する3次元集積化技術「SoIC」 TSMCが提供している先進パッケージング技術「3DFabric」と「SoIC」の分類(左の緑色の線で囲んだ部分)[クリックで拡大] 出所:TSMC(Hot Chips 33の講演「TSMC packaging technologies for chiplets and 3D」のスライドから)、緑色の線は筆者が記入したもの 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan