ウエハースケールの超巨大プロセッサを実現した「InFO」技術 「InFO_SoW」技術の特長(上)と構造(左下)、開発例(右下)[クリックで拡大] 出所:TSMC(Hot Chips 33の講演「TSMC packaging technologies for chiplets and 3D」のスライドから) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan