ミリ波応用の振動センサー、非接触で機械保全が可能に 38nmの振動振幅ピークを持つ振動も計測できている(左)。右は、グラフを拡大した様子[クリックで拡大] 出所:アナログ・デバイセズ 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan