FinFETの実用化で必須となった「設計・製造協調最適化（DTCO）」

設計・製造協調最適化（DTCO：Design Technology Co-Optimization）の例。設計ルールとプロセス条件のウインドウから、シミュレータ「TCAD」によってPPAが最適になるポイントを見つける［クリックで拡大］ 出所：Synopsysが2016年7月に展示会兼講演会「SEMICON West 2016」で「Design-Technology Co-Optimization for 5nm Node and Beyond（5nm以降の世代における設計と製造の最適化）」と題して講演した資料