チュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials(CMOSを3nm以下に微細化する要素技術-デバイスアーキテクチャと寄生素子、材料)」のアウトライン。講演スライド全体から筆者が作成したもの。今回から、「設計・製造協調最適化(DTCO)からシステム・製造協調最適化(STCO)へ」の講演パートを紹介する[クリックで拡大]