2層上下の配線層をダイレクトに接続する「スーパービア」の課題（後編）

異なるビアの電気抵抗値を4端子法（ケルビン接続）によって測定した結果。3トラックのM2をブロックしたスーパービア（SV）の抵抗値は、スタックビア（アスペクト比3）の2.4分の1と低い［クリックで拡大］ 出所：imec（IEDM 2020の発表論文「Supervia Process Integration and Reliability Compared to Stacked Vias Using Barrierless Ruthenium」（論文番号20.5））