2層上下の配線層をダイレクトに接続する「スーパービア」の課題（前編）

ブロックするM2のトラック数と、配線混雑度（左の縦軸）およびDRC違反数（右の縦軸）の関係。4トラックまではDRC違反は100前後にとどまる。5トラックになるとDRC違反は急激に増加し、1500を超える。13層の多層配線構造を想定したときの推定値。出典：imec（IEDM 2020の発表論文「Supervia Process Integration and Reliability Compared to Stacked Vias Using Barrierless Ruthenium」（論文番号20.5）） （クリックで拡大）