2層上下の配線層をダイレクトに接続する「スーパービア」の課題（前編）

スーパービアがブロックするM2のトラック数と、M0（Mint）からM5の配線混雑度の関係。ブロックするトラック数が3トラックを超えると、M3とM4、M5の配線混雑度が急激に増大する。なお混雑度は、ブロックするM2のトラック数が最も少ない（1トラックの）場合を基準とした相対値。出典：imec（IEDM 2020の発表論文「Supervia Process Integration and Reliability Compared to Stacked Vias Using Barrierless Ruthenium」（論文番号20.5）） （クリックで拡大）