2層上下の配線層をダイレクトに接続する「スーパービア」の課題（前編）

セルの高さが5トラック（5T）のスタンダードセルにおける、「スーパービア（supervia）」と第2層金属配線（M2）のレイアウト。スーパービアがブロックするM2のトラック数を変更して図示している。左（a）は1トラック、中央（b）は3トラック、右（c）は5トラックの場合。出典：imec（IEDM 2020の発表論文「Supervia Process Integration and Reliability Compared to Stacked Vias Using Barrierless Ruthenium」（論文番号20.5）） （クリックで拡大）