産総研ら、SiCウエハーの高速研磨技術を開発 左は研磨条件の違いによる研磨速度の比較、右は高速研磨された6インチSiCウエハーの外観 (クリックで拡大) 出典:産総研他 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan