「ムーアの法則」は終わらない 〜そこに“人間の欲望”がある限り 図9:High NAのEUVを用いた時のウエハーコスト 出典:Sri Samavedam(imec), “Future Logic Scaling: Towards Atomic Channels and Deconstructed Chips”, IEDM2020, Plenary(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan