「ムーアの法則」は終わらない 〜そこに“人間の欲望”がある限り

図8：EUVリソグラフィのスケーリングのロードマップ 出典：Sri Samavedam（imec）, “Future Logic Scaling: Towards Atomic Channels and Deconstructed Chips”, IEDM2020, Plenary（クリックで拡大）