「ムーアの法則」は終わらない 〜そこに“人間の欲望”がある限り 図4：2007年の調査「EUVの量産機はできないのではないか」の結果 出典：筆者の調査による（クリックで拡大） 記事に戻る 湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan
