10nm以下の極短チャンネルを目指す2次元(2D)材料のトランジスタ

代表的な2次元(2D)材料「二流化モリブデン(MoS2)」の結晶構造。層状の結晶格子が垂直方向に弱く結合している。出典:imec(IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料) (クリックで拡大)

代表的な2次元(2D)材料「二流化モリブデン(MoS2)」の結晶構造。層状の結晶格子が垂直方向に弱く結合している。出典:imec(IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料) (クリックで拡大)