サブナノメートル時代を見据える2次元(2D)材料のトランジスタ 2次元(2D)材料「遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD)」の構造(左)と比誘電率(右)。出典:imec(IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料) (クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan