ボトム側がnチャンネルGaN(窒化ガリウム)MOSFET、トップ側がpチャンネルSi MOSFETのシーケンシャルCFET(構造図)。出典:intelが2019年12月に国際学会IEDMで発表した論文「3D Heterogeneous Integration of High Performance High-K Metal Gate GaN NMOS and Si PMOS Transistors on 300mm High-resistivity Si Substrate for Energy-Efficient and Compact Power Delivery, RF(5G and beyond) and SoC Applications」(論文番号17.3)から(クリックで拡大)