次々世代のトランジスタ技術「コンプリメンタリFET」の構造と種類

CFETの断面構造（左）と鳥瞰図（右）。出典：imecが2019年12月に国際学会IEDMで発表した論文「Enabling Sub-5nm CMOS Technology Scaling Thinner and Taller!」（論文番号29.4）から（クリックで拡大）