FinFETの「次の次」に来るトランジスタ技術

「コンプリメンタリFET(C(Complementary)FET)」の考え方。Sはソース、Dはドレイン、Gはゲートである。出典:imec(IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料) (クリックで拡大)

「コンプリメンタリFET(C(Complementary)FET)」の考え方。Sはソース、Dはドレイン、Gはゲートである。出典:imec(IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料) (クリックで拡大)