論理回路セルとSRAMセルを縮小するフォークシート構造

SRAMセルの面積をナノシート構造とフォークシート構造で比較。左は高性能タイプのSRAMセル。右は高密度タイプのSRAMセル。出典：imec（IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料） （クリックで拡大）