論理回路セルとSRAMセルを縮小するフォークシート構造

データ型フリップフロップ（D-FF）のセルレイアウト。上からナノシート（GAA NSH）構造（a）、FinFET（b）、フォークシート構造（c）。出典：2019年12月にIEDM2019でimecが発表した論文「Novel forksheet device architecture as ultimate logic scaling device towards 2nm」（論文番号36.5）から（クリックで拡大）