フォークシート構造のCMOSロジック製造プロセス

フォークシート構造のトランジスタ製造プロセスフロー。出典：imec（IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料） （クリックで拡大）