フォークシート構造のトランジスタが次世代以降の有力候補である理由

フォークシート（Forksheet）構造で基本セルのレイアウトを最適化した例。左は寄生容量を最小化したレイアウト、中央は電流駆動能力を高めたレイアウト、右はセル面積を最小化したレイアウト。なお図中の「M0A」は「Contact-to-Active, Active Trench Contact（アクティブ層につながるコンタクト金属層）」、「MINT」は「水平方向の最下層金属配線（一般的にはM1に相当）」、「BPR」は「Buried Power Rail（埋め込み電源/接地線）」を意味する。出典：imec（IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料） （クリックで拡大）