フォークシート構造のトランジスタが次世代以降の有力候補である理由

CMOSロジック基本セルのアーキテクチャと各部の寸法。左端の水色が最下層金属配線、垂直に伸びる赤色がゲート金属、水平に伸びる緑色がアクティブ領域。出典:2019年12月にIEDM2019でimecが発表した論文「Novel forksheet device architecture as ultimate logic scaling device towards 2nm」(論文番号36.5)から(クリックで拡大)

CMOSロジック基本セルのアーキテクチャと各部の寸法。左端の水色が最下層金属配線、垂直に伸びる赤色がゲート金属、水平に伸びる緑色がアクティブ領域。出典:2019年12月にIEDM2019でimecが発表した論文「Novel forksheet device architecture as ultimate logic scaling device towards 2nm」(論文番号36.5)から(クリックで拡大)