ナノシート構造を超える高い密度を実現するフォークシート構造のトランジスタ

フォークシート（Forksheet）構造でpチャンネルとnチャンネルのトランジスタを作り込む模式図。出典：imec（IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料） （クリックで拡大）