ナノシート構造を超える高い密度を実現するフォークシート構造のトランジスタ

チュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials（CMOSを3nm以下に微細化する要素技術-デバイスアーキテクチャと寄生素子、材料）」のアウトライン。講演スライド全体から筆者が作成したもの。前回から「FinFETの次に来るトランジスタ技術（ナノシートFETとフォークシートFET）」の講演部分を紹介している（クリックで拡大）