ギャップ長20nmのナノギャップガスセンサーを開発

20μmギャップ長のトップコンタクト型ナノギャップガスセンサーと12μmギャップ長ガスセンサーの酸素ガス導入時の抵抗応答 （クリックで拡大） 出典：東京工業大学