フィンFET（FinFET）の次に来るトランジスタ技術

FinFETからナノシート（Nanosheet）FETへの転換とナノシートFETの利点。出典：imec（IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料）