フィンFET（FinFET）の次に来るトランジスタ技術

FinFETを利用したCMOS基本セル（スタンダードセル）のスケーリングとその課題。出典：imec（IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料） （クリックで拡大）