電源供給配線網（PDN）をシリコンダイの裏面に配置して電源をさらに安定化

裏面側に電源供給配線網（BS-PDN）を製造する工程（後半）。出典：imec（IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料） （クリックで拡大）