埋め込み電源配線の構造と材料選択

埋め込み電源／接地線（BPR）の配線構造における金属材料の比較。左はBPRの材料特性を比較した表。右はM0AとVBPRの材料とVBPRの高さ（深さ）による電気抵抗の違い。出典：imec（IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料） （クリックで拡大）