埋め込み電源配線の構造と材料選択 埋め込み電源/接地線(BPR)を導入したCMOS基本セルの構造と主な略語。左の図面はチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」のスライドから引用した。右の略語説明は筆者がimecの学術論文から抜粋したもの(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan