埋め込み電源配線の構造と材料選択

埋め込み電源／接地線（BPR）を導入したCMOS基本セルの構造と主な略語。左の図面はチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」のスライドから引用した。右の略語説明は筆者がimecの学術論文から抜粋したもの（クリックで拡大）