東京大ら、3次元集積可能なメモリデバイスを開発 左は試作したIGZTOトランジスタのチャネル部の断面TEM像。中央はIGZTOトランジスタのドレイン電流−ゲート電圧特性。右はIGZTOトランジスタとIGZOトランジスタの実効移動度の比較 (クリックで拡大) 出典:東京大学他 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan