微細化の極限を目指すCMOSロジックの製造技術

CMOSロジックの微細化（技術ノード）と、トランジスタの製造コスト（ドル当たりのトランジスタ数、2を底とする対数目盛り）の推移。出典：imec（IEDM2020のチュートリアル講演「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials」の配布資料）