原子層エッチングがEUVの確率変動を低減 図3:スキャナーを60mJ/cm2で動作させると、20mJ/cm2の動作時と比較して、ビアの真円度とサイズの分布が改善されるが、生産性に著しい影響を与える 記事に戻る Rich Wise(Lam Research),EE Times Japan