急速にキャッチアップを進めたSK hynixの3D NAND技術

SK hynixが開発してきた3D NANDフラッシュのメモリセルアレイ構造の推移。シリコンダイからメモリセルアレイの断面を切り出して電子顕微鏡で観察したもの。出典：FMS 2020の講演「Technology Trend：NAND ＆ Emerging Memory」の配布資料（クリックで拡大）