SiCウエハー欠陥の無害化技術を開発、関学大と豊田通商 開発した表面ナノ制御プロセス技術「Dynamic AGE-ing」の技術概要 (クリックで拡大) 出典:関西学院大学 記事に戻る 竹本達哉,EE Times Japan