SamsungのEUV適用D1z世代のDRAMを分析 図1：ArF-iベースのリソグラフィを適用したD1z 16GビットLPDDR5ダイ（写真左）と、EUVリソグラフィ適用のD1z 12GビットLPDDR5ダイ（右） 出典：TechInsights 記事に戻る Jeongdong Choe（TechInsights），EE Times
