三井金属、特殊ガラスキャリアの量産を開始 左は12インチウエハー型HRDPの外観、右はウエハー型HRDPの製品構造図 (クリックで拡大) 出典:三井金属鉱業 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan