EUV出荷は100台を突破、コロナ下でも増収増益のASML ASMLは、開口数が高い次世代のEUVプラットフォームを開発中だ 出典:ASMLジャパン(2020年8月の「第6回 SEMI Japanウェビナー」の資料より) (クリックで拡大) 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan