自己組織化単分子(SAM)膜を使った選択成長プロセス SAM膜を使った選択成長(選択デポジション)の工程。薄膜の成長と、欠陥を除去するためのエッチングを繰り返す。出典:Intel(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan